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管式低压硼扩散炉

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管式低压硼扩散炉

  技术特点  Features   

· 成熟BBr3液态源、BCL3气态源节造与输送技术。

· 配套有关专利技术。

· 怪异双嵌套炉门结构。

· 高速安稳整体模组推舟机构。

· 智能化全自动节造。

· 自主知识产权MES软件。

· 匹配S.C智能化出产治理系统。

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