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管式等离子体多晶硅淀积炉

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管式等离子体多晶硅淀积炉

  技术特点  Features  

· 隧穿氧化层、i-poly、D-poly 三合一起管实现，削减工艺环节，有效提升良率、降低碎片率。

· 无热壁个性，石英管使用寿命长。

· 绕镀轻微，易去除。

· 精准掺杂、可引入其它提效掺杂元素，工艺拓展、提效空间大。

· 防导通专利技术。


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