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管式扩散氧化退火炉

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管式扩散氧化退火炉

  技术特点  Features   

· 高方阻技术解决规划。

· 配套有关专利技术,可合用于硼扩散工艺。

· 怪异双嵌套炉门结构。

· 专利技术尾气处置系统。

· 高速安稳整体模组推舟机构。

· 智能化全自动节造。

· 自主知识产权MES软件。

· 全面的防超温、断偶、撞舟等安全报警 ;ぶ澳。

· 匹配S.C智能化出产治理系统。


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