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管式氧化铝原子层淀积炉(边缘钝化)

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管式氧化铝原子层淀积炉(边缘钝化)

  技术特点  Features  

· 可满足TOPCon 高效电池切片后的边缘钝化处置。

· 大产能设计,兼容多吩飕升级,可满足客户定造化需要。

· 实现原子层级膜厚精准节造,膜层均匀性优异。

· 每管反映腔体独立运行,守护周期达季度级别,保险设备高效不变运行。

· 已通过客户端批量靠得住性认证,机能阐发优异。




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