技术特点 Features  

· 兼容性强
，最大可兼容硅片尺寸：230mm
。

· 大产能设计
，满足规；坎枰
。

· 温控精准
，工艺一致性优异
。

· 设备稼动率≥ 98.5%
，碎片率≤ 0.01%
。

· AI 智能集成
，实现全流程管控
。

· 主机单管独立空间设计
，运维便捷高效
。