技术特点  Features  

· 产能：400片/批，9600片/幼时（210硅片）,480片/批，12000片/幼时（182硅片）。

· 支持多种增长剂技术。

· 支持最薄120μm硅片。

· 干净区域干燥，自干净系统。

· 急剧换液，在线换液。

· 支持MES、RFID及选配在线称沉职能。