技术特点 Features  

· 兼容性强，最大可兼容硅片尺寸：230mm。

· 大产能设计，满足规；坎枰。

· 温控精准，工艺一致性优异。

· 设备稼动率≥ 98.5%，碎片率≤ 0.01%。

· AI 智能集成，实现全流程管控。

· 主机单管独立空间设计，运维便捷高效。