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管式低压磷扩散炉

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管式低压磷扩散炉

  技术特点  Features   

· 高方阻技术解决规划。

· 怪异双嵌套炉门结构,有效解决炉口偏磷酸问题。

· 怪异温区设置,有效解决炉口炉尾方阻均匀性。

· 高速安稳整体模组推舟机构。

· 智能化全自动节造。

· 自主知识产权MES软件。

· 匹配S.C智能化出产治理系统。


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