技术特点 Features  

· 选取龙门式机构装卸硅片（或进口六轴机械手装卸硅片）+ 六轴机械手搬运片篮
，双工作位切换装卸片
，确保设备高效产能和设备靠得住性。

· 顶齿、吸盘沉要零部件选取特殊材质及加工工艺
，最大降低顶齿/ 吸盘对硅片的危险
；特殊结构可实现顶齿、吸盘单片急剧更换。

· 节造法式结构
？榛
，HMI 通过网络通讯实现与PLC 高速数据交互
，便于设备职能扩大与设备守护
；设备拥有敦睦的人机界面和美满的检测报警系统
，保障设备自动运行不变
，操作安心。

· 设备可匹配MES 职能
；设备可选配方阻检测等检测模组
；设备可匹配AGV 智能出产线
；我司可凭据客户需要定造个性化职能。