技术特点 Features  

· 硅片无需装置载具，水平陆续式传输。

· 整机PP防火资料全包覆，提高设备的安全等级。

· 特殊铜槽及管路设计，药水用量更少，同时也削减泵浦的能耗。

· 怪异喷淋水洗？，确保在洗濯时全覆盖电池片。

· 柔性阴极接触硅片电镀更不变。

· 以IPC工控机共同PLC做过程节造，可执行自动或手动模式，可搭配自动高低料机智能出产。

· 自主软体设计，人道化操作界面，即时的出产&机台运行资讯，Recipe编纂职能，美满的Log纪录职能，？榛硖迳杓，满足客户定造化要求。