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单面卷绕蒸发溅射一体机

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单面卷绕蒸发溅射一体机

  技术特点 Features  

· 蒸发腔、溅射腔共存。

· 蒸发腔：单面蒸发，可镀铝、锂等低温蒸发资料。

· 溅射腔：6对旋转靶，可代替平面靶。

· 后腔：可进行加热、冷却、气体处置、plasma处置等。



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