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双面卷绕溅射镀膜设备

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双面卷绕溅射镀膜设备

  技术特点 Features  

· 一步法双面镀膜,单面厚度30nm~1000nm。

· 实现3~50m/min工艺走速、1650大宽幅。

· 镀膜腔可拓展,实现多种工艺和高速镀膜。

· 破空隔离:实现不破空急剧换卷。

· 镀膜过程自动节造,主辊冷却 PID 温控调节,推算机界面操作。



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