涂布一体机(箱式/隧路式)
涂布一体机(箱式/隧路式)
技术特点 Features
· 涂布机配置高精度活动平台、多段式涂布节造方式、液路系统自动清洁与干燥、多沉安全防护 ，整体氛围可控。
· VCD选取多方位多层匀流板结构 ，可实显旖均急剧抽真空与保压节造。
· 退火设备为箱式与隧路式可选 ，升温速度快 ，稳态温度均匀性优。
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功夫型/空间型ALD设备
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喷墨打印设备
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