技术特点 Features  

· 选取等离子和石墨靶预处置装置，有效提高膜层的结合力。

· 双溅射工艺腔室，单腔镀膜功夫减半，更短出产节拍。

· 配置多组溅射靶，能够实现多资料高效能沉积。

· 多蒸发舟间距无级可调，ES距离可微调，注射泵精准节造补液计量，保障产品抗油污机能。

· 大直径镀膜鼓设计，定造化挂板规划，有效提高产能。

· 自动化节造高低板过程，门阀、轨路安全检测，保障操作安全性。